百科智库 | 新书速递：微机电系统（Micro Electro Mechanical Systems）

由东南大学黄庆安教授任主编，共计40章，涵盖了 MEMS 建模、MEMS 材料与结构表征、物理类传感器、化学类传感器、微执行器、光 MEMS、射频 MEMS、动力 MEMS、植入式 MEMS 等前沿内容。

2018.05.24

微纳米技术是制造和构建尺寸从纳米到微米的系统的技术。这些技术的发展创造了许多跨学科的研究机会，并已应用于从纳米医学到太空系统的各个领域。经过几十年的发展，微纳米技术已形成知识库。

Springer Nature 邀请尤政院士（清华大学副校长，中国微米纳米技术协会CSMNT）理事长）以及王晓浩研究员（深圳研究生院副院长，中国微米纳米技术学会秘书长）作为主编，推出微纳米技术 Micro / Nano Technologies 系列丛书，为从事微纳米技术不同方面的研究人员、工程师、科学家和研究生提供系统全面的权威知识。这一系列由5本书组成，分别是《微纳米制造》、《微机电系统（MEMS）》、《纳米材料》、《纳米医学》以及《微/纳米技术在 IT/IOT 中的应用》，综览微纳米技术的最新研究进展，讨论了相关技术、器件和应用的历史和路线图。邀请的作者均为在这个领域有着显著前瞻性成果的专家，分别来自中国、美国、德国、英国、奥地利及日本等多个国家。

《微机电系统（MEMS）》由东南大学黄庆安教授任主编，共计40章，涵盖了 MEMS 建模、MEMS 材料与结构表征、物理类传感器、化学类传感器、微执行器、光 MEMS、射频 MEMS、动力 MEMS、植入式 MEMS 等前沿内容。该书汇集了中科院上海微系统与信息技术所、电子所、半导体所、微电子所等5个科学院研究所，清华大学、北京大学等13个“双一流”高校的2位院士、4位973首席、3位长江学者/杰青、3位中科院“百人计划”入选者、9位教育部“新世纪优秀人才支持计划”入选者等顶级MEMS研究团队的最新研究成果。

全书所有章节已全部在线出版，下载量已近万次。

 Micro Electro Mechanical Systems

Editors: Huang, Qing-An (Ed.)

主编介绍：黄庆安教授，东南大学 MEMS 教育部重点实验室主任，IEEE Fellow。

黄庆安教授曾任国家863计划微纳制造技术主题专家组组长，组织了我国近年MEMS高技术研发。主要从事微传感器、智能传感器及系统、MEMS、NEMS理论、技术与应用方面的研究。

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